Literaturverzeichnis

 

Physikalische Sensoreffekte (Kapitel 3, S. 35-81)

in Sensortechnik: Handbuch für Praxis und Wissenschaft

C. Scheibe

Herausgeber H.-R. Tränkler und E. Obermeier, 1. Auflage 1998, Springer Verlag, Heidelberg

eBook ISBN 978-3-662-09866-0, Print Ausgabe ISBN 978-3-540-58640-1 (vergriffen)

 

Design und Realisierung eines kapazitiven Gassensorelementes mit integrierter Heizung für Betriebstemperaturen bis 450 Grad°C

C. Scheibe

Dissertation, 118 Seiten

Technische Universität Berlin, Fachbereich Elektrotechnik, 1995 (D83)

TU Zentralbibliothek, Magazin 8Ve5416

 

Development of a high-temperature basic device for chemical sensors based on an IDC with on-chip heating

C. Scheibe, E. Obermeier, W. Maunz, C.Plog

Sensors & Actuators B, Vol. 24-25, 1995, S. 584-587

Proceedings of the 5th International Meeting on Chemical Sensors, Rome, July 1994

ISSN 0925-4005/95, Elsevier Science, Amsterdam

 

Combustion gas sensitivity of zeolite layers on thin-film capacitors

C.Plog, W. Maunz, P. Kurzweil, E. Obermeier, C. Scheibe

Sensors & Actuators B, Vol. 24-25, 1995, S. 403-406

Proceedings of the 5th International Meeting on Chemical Sensors, Rome, July 1994

ISSN 0925-4005/95, Elsevier Science, Amsterdam

 

Compensating corner undercutting in anisotropic etching of (100) silicon for chip separation

C. Scheibe, E. Obermeier

Journal of micromechanics and microengineering, Vol. 5, 1995, S. 109-111

ISSN 0960-1317, Institute of Physics (IOP) Publishing, Bristol

 

Design of an On-Chip Heater for Temperatures up to 450°C Based on Finite Element Analysis for Catalytic Chemical Sensors

C. Scheibe, E. Obermeier, W. Maunz, C.Plog

Micro System Technologies '94, Reichl / Heuberger (ed.), 1994, S. 919-928

4th Int. Conference on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Berlin, 19.-21.10.1994

ISBN 3-8007-2058-2, VDE-Verlag, Berlin und Offenbach

 

Design and Realisierung einer direkt beheizten Gassensor-Basisstruktur für Temperaturen bis 450 Grad°C

C. Scheibe, E. Obermeier, W. Maunz, C.Plog

ITG-Fachbericht, Band 126, 1994, S. 427-432

ITG-Fachtagung Sensoren - Technologie und Anwendung, Bad Nauheim, 14.-16.3.1994

ISBN 3-8007-1988-6, VDE-Verlag , Berlin und Offenbach

 

Herstellung und Charakterisierung MBE gewachsener SQW-HFETs

C. Scheibe

Diplomarbeit, 102 Seiten

Technische Universität Berlin, Fachbereich Elektrotechnik, 28.2.1991

Institut für Werkstoffe der Elektrotechnik, Prof. Dr.-Ing. H.G. Wagemann

 

 

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